XPS Peak Fit軟件介紹
XPS Peak Fit官方版是一款用于進行化學分析的XPS分峰擬合軟件,可以進行分析物質(zhì)表面的化學組分及狀態(tài)分析。它是一款常用的化學處理軟件,對表面光電子能譜處理分析,能自動生成很多重要的參數(shù)。
XPS Peak Fit使用方法
XPS Peak軟件擬合數(shù)據(jù)的簡單步驟:
1. Excel中的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成TXT格式
從Excel中的數(shù)據(jù)只選擇要進行擬合的數(shù)據(jù)點,copy至txt文本中,即BD兩列數(shù)據(jù),另存為*.txt文件。
2.XPS Peak41中導入數(shù)據(jù)
打開xps peak 41分峰軟件,在XPS Peak Fit窗口中,從Data菜單中選擇Import (ASCII),即可將轉(zhuǎn)換好的txt文本導入,出現(xiàn)譜線
3.扣背底
在打開的Region 1窗口中,點擊 Backgrond,選擇Boundary的默認值,即不改變High BE和Low BE的位置,Type一般選擇Shirley類型扣背底
4.加峰
選擇Add Peak,選擇合適的Peak Type(如s,p,d,f),在Position處選擇希望的峰位,需固定時點fix前的小方框,同時還可選半峰寬(FWHM)、峰面積等。各項中的constaints可用來固定此峰與另一峰的關(guān)系。如W4f中同一價態(tài)的W4f7/2和W4f5/2的峰位間距可固定為2.15eV,峰面積比可固定為4:3等,對于% Lorentzian-Gaussian選項中的fix先去掉對勾,點擊Accept完成對該峰的設(shè)置。點Delete Peak可去掉此峰。再選擇Add Peak可以增加新的峰,如此重復(fù)。注意:% Lorentzian-Gaussian值最后固定為20%左右。
5.擬合
選好所需擬合峰的個數(shù)及大致參數(shù)后,點XPS Peak Processing中的Optimise All進行擬合,觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況,如不好,可多次點Optimise All
6.參數(shù)查看
擬合完成后,分別點XPS Peak Processing窗口總的Region Peaks下方的0、1、2等,可查看每個峰的參數(shù),此時XPS峰中變紅的曲線為被選中的峰。如對擬合結(jié)果不滿意,可改變這些峰的參數(shù),然后再點擊Optimise All
7.XPS存圖
點Save XPS可將譜圖存為.xps格式的圖,下回要打開時點Open XPS可以打開這副圖,并可對圖進行編輯
8.XPS圖的數(shù)據(jù)輸出
a.點擊Data中的Export(spetrum),可將擬合好的數(shù)據(jù)存為.dat格式的ASCII文件(該文件可用記事本打開),然后再Origin中導入該ASCII文件,可得到一個包含多列的數(shù)據(jù)表,這里需要注意的是每列的抬頭名稱出錯(如.dat文件中的Raw Intensity分開到兩列中作為兩列的抬頭,即Raw、Intensity),這時需要根據(jù)做出的圖與.xps原始譜圖比較,更改每列的名稱,即可得到正確的譜圖
b.點擊Data中的Export(Peak Parameters),即將各峰參數(shù)導出為.par格式的文件(也可用記事本打開),通過峰面積可計算某元素在不同峰位的化學態(tài)的含量比
c.點擊Data中的Export to clipboard,即將圖和數(shù)據(jù)都復(fù)制到剪貼板上,打開文檔(如Word),點粘貼,即把圖和數(shù)據(jù)粘貼過去,不過該圖很不清晰
d.點擊Data中的Print with peak parameters,即可打印帶各峰參數(shù)的譜圖
XPS Peak Fit更新日志
1、修復(fù)上個版本的bug
2、優(yōu)化部分功能